China CVD-Diamant-Produktionsausrüstung.CVD-Diamant-Produktionsausrüstung Factory / Hersteller- Troysupply.com

Künstliche Diamantkultivierungsausrüstung

Im Resonanzhohlraum des TR-6650 für die chemische Gasphasenabscheidung mit Mikrowellenplasma befinden sich keine internen Elektroden, wodurch eine durch Elektrodenentladung verursachte Verschmutzung vermieden werden kann. Sein Betriebsdruckbereich ist relativ breit und das erzeugte Plasma weist eine hohe Dichte, eine große Fläche, eine hohe Stabilität und keinen Kontakt mit der Vakuumwand auf, um eine Kontamination des Films durch die Wand zu vermeiden.

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- Kühlart : Wasserkühlungsstruktur- Probentisch : Durchmesser des Substrats Φ 80 mm- Temperaturmessung auf dem Substrat : Infrarot-Temperaturbereich 300 – 1400 ℃ + Intelligente KI-Temperaturmessung (doppelte Temperaturmessung)- Höhenverstellung : Die Wachstumshöhe des Probentisches kann um ± 15 mm angepasst werden- Erweiterbarkeit : Die Wachstumsplattform kann erweiterbar sein

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